クサビ式減速機構を搭載した高精度の「位置決め」システムを開発
半導体製造装置や液晶パネル、光通信モジュールといった精密部品の製造では、さまざまな工程で「正確な位置に合わせる」という技術が不可欠だ。現在、そのアライメント市場では、より高精細なサブミクロン（1万分の1ミリ）レベルでの正確性が求められている。
今回大賞を受賞した「クサビ式減速機構を搭載した超精密1軸ステージ及び超精密XYθステージ」は、「クサビ式減速機構」の採用により、「くり返し位置決め±0.25μｍ（ミクロン）、50㎚（ナノメートル）の追従性」という超高精度、高追従性を実現。半導体や半導体周辺の電子部品の製造、液晶パネルの張り合わせ、電子基盤の印刷といった精密機器・部品製造の現場で活躍している。クサビ式減速機構を横方向に搭載することでXYθ軸をフラットな平面にするという画期的なアイデアにより、従来のボールネジのよろめきを飛躍的に低減させているのが特長だ。
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超精密１軸ステージ -
超精密XYθステージ
